レーザとレーザ応用システムの総合メーカー:ネオアーク株式会社English

DMD式露光装置”PALET”

DMD式露光装置”PALET”

DMD式露光装置 “PALET”

■製品特長

・レーザ直接露光装置や電子ビーム露光装置と比較して広い面積を高速で露光可能
・マスクを使用せずに任意のパターンをレジストに露光が可能
・小型な装置であり、大気中での露光が可能なので設置場所の要求条件少ない
・新規設計のソフトウェアにより容易な操作を実現
・光源にLEDを採用しているので、安定した露光が実現し、また、ランニングコストにも優れます
・電動XYステージと組み合わせる事でより広い面積の露光が可能

■主なアプリケーション

・磁性薄膜等の任意形状のパターンニング
・センサ、半導体デバイスの試作
・MEMSデバイスの試作
・オプトエレクトロニクス、LEDの試作
・マイクロ流体デバイスの試作
・マスク作成
・細胞等の分別用流路作成
・光導波路の作成

HP掲載申請書(DMD式露光装置) (表)

HP掲載申請書(DMD式露光装置) (裏)

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