DMD式露光装置 “PALET”
・高速・広範囲・低価格。
・全ての研究開発を加速させる DMD式露光装置 “PALET” 登場。

※「Pattarn Aligning Lithography EquipmenT」(パターンを複数並べて露光できるリソグラフィ装置)の頭文字を取り、自由に描画できるイメージを「パレット」という言葉に込めました

HP掲載申請書(DMD式露光装置) (表)