PALET

「フォトリソを、もっと身近に!」

 今や半導体などのエレクトロニクス産業だけでなく、物性研究、バイオテクノロジー、デバイス開発などあらゆる分野で利用されるMEMS技術。その代表格であるフォトリソグラフィを、卓上で、手軽に、思いのままに行えるのがマスクレス露光装置PALET(パレット)です。

設置場所を選ばない装置サイズ、マスクレス露光装置の常識を破る価格設定、思いついたパターンをその場で形にできるシンプルな操作性は、トライ&エラーが必要不可欠な研究・開発用途に最適です。

デスクトップサイズの露光装置

A3サイズの設置面積
防振台不要
必要ユーティリティはAC100Vのみ

“デスクトップリソグラフィ”をキーワードに、装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現しました(※1)。また独自のフローティング構造を採用することで振動を抑制し、防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を実現。導入に際して障害となりやすい圧縮エア等のユーティリティを取り除きました。お客様にご用意いただくのは机と100V電源のみ(※2)です。

機能絞り込みと低価格設定

研究室レベルで導入できる低価格設定
露光領域  :25mm×25mm
最小露光線幅:3μm

「マスクレス露光装置は便利だが数千万円するものだから、導入は諦めよう」
そんな常識を打ち破るべく機能を大胆に絞り込み、各研究室レベルで導入できる低価格を実現しました。もちろんマスクレス露光装置が持つ自由度はそのまま活用できますので数10~数100μmの微細パターンを求める研究・開発に最適です。

ユーザビリティ

フォトリソグラフィは「露光により所望の形状を得る事」が目的で、露光作業そのものが仕事になってはいけません。とはいえフォトリソグラフィは熟練を要する部分も多く、微細パターンを求める多くの方の障害となっています。
PALETはフォトリソグラフィに不慣れな人でもパターニングができる、分かりやすい操作性を実現しています。また、さらなる使い勝手向上を目指し継続的にアップデートを行っています。

迷いのない操作性

フォトリソグラフィに不慣れな人でも露光作業に迷わない、分かりやすい操作性を実現しました。写真を印刷するように、任意のパターンを露光することができます。

露光機能

露光作業をサポートする各種機能を搭載しています。

重ね合わせ(アライメント)

DXFデータ等を利用して数層からなるパターンを露光することができます。

(画像をクリックで拡大表示します。)

リピートモード

マトリクス状に露光すると共に、2つのパラメータを設定することで最適条件が割り出すことができます。フォトリソグラフィの障害となりがちな露光条件出しをサポートします。

(画像をクリックで拡大表示します。)

豊富な対応フォーマット

画像データ(JPEG,PNG,BITMAP)、パワーポイント作図データ、CADデータ(DXF)を読み込むことが可能です。
またCADデータは任意のレイヤを選択して露光することが可能です。

様々なアシスト機能

ネガポジ反転
露光パターン⇔カメラ切替
拡大・縮小
オートフォーカス

ラインナップ・オプション

ラインナップ

型名 DDB-701-MS-10 DDB-701-MS-2 DDB-701-DL-10 DDB-701-DL-2
光源 365nm(typ.) LED
対物レンズ 10倍 2倍 10倍 2倍
最小露光線幅 3μm 15μm 3μm 15μm
ワークサイズ 最大□60mm、厚み3mm以下
ワンショットあたりの
露光エリア
約1mm x 0.6mm 約5mm x 3mm 約1mm x 0.6mm 約5mm x 3mm
ワンショットあたりの
露光時間
約1秒 約15秒 約1秒 約15秒
露光領域 25mm x 25mm
ステージ 手動XYZθステージ 電動XYZθステージ
構成 装置本体・ノートPC・ソフトウェア・ステージドライバ(オートステージモデルのみ)
ユーティリティ AC100V、消費電力、1.5kW以下
対応ファイルフォーマット 画像データ(JPEG / PNG / BITMAP)、パワーポイントデータ、CADデータ(DXF)
本体外寸、重量 300mm(W) x 450mm(D) x 450mm(H)、約30kg

オプション

周辺オプションを個別に設計することも可能です。ご希望があればお問合せください。

周辺オプションを個別に設計することも可能です。ご希望があればお問合せください。