概要

 近年の大容量・高速でのデータ通信の必要性の高まりに応じ、様々な新規高周波通信規格や規格化に伴う関連デバイスの新規開発が著しくなってきています。
同時にデバイスを評価する為の計測装置の強まるニーズに応え、ネオアーク株式会社がサニャック干渉計振動観察装置を提供致します。

特長

1. ~3GHzまでの高周波振動挙動観察(オプション6GHz)

2. レーザ(光)による非接触観察

3. 低周波振動に対して感度が低いため、外来振動の影響が少なく防振対策が容易

4. 2次元FFT処理によるフィルタ機能付属

5. 高速スキャン方式を採用しているため、データ収集が短時間で行える

観察例

弾性表面波(SAW:Surface Acoustic Wave)の振動観察例

400MHz帯で動作するSAWデバイスの振動の観察例です。表面弾性波の伝搬・分布挙動の確認ができます。

圧電薄膜共振子(FBAR:Film Bulk Acoustic Resonator)の振動観察例

以下3つの動画は2.4GHz帯で動作する市販のFBARデバイスの振動観察例を示します。駆動周波数を数十MHz変えたときの異なる振動モードを観察しました。動画ではシリーズ素子とシャント素子を同一フレームで表現しています。
※サムネイルをクリックすると動画が閲覧できます。

主な仕様

観察周波数 50MHz~3GHz
∟ オプション ~6GHz対応可
振動検出軸 レーザ照射軸
レーザ波長 650nm
スポット径 φ1µm(x100対物レンズ使用)
マッピング位置分解能 0.1µm
観察範囲 25mm×25mm
装置本体寸法 W600mm×D600mm×H1350mm