露光装置 描画装置 palet

マスクレス露光装置

マスクレス露光装置PALET

概要/仕様

高速・広範囲・低価格のDMD式マスクレス露光装置

最小露光線幅 3μm(10×対物レンズ)
露光範囲 1mm×0.6mm(10×対物レンズ)
露光時間 約1秒

特長/用途

任意の画像データやCADデータをレジストに一括露光

つなぎ合わせによって広範囲の露光が可能(自動ステージオプション)

デバイス試作、マスク作成に最適なマスクレス露光

ラボオンチップ、マイクロマシン、マイクロ流路、デバイス電極などの作製