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業界の常識を覆す低価格設定

「マスクレス露光装置は便利だが数千万円するものだから、導入は諦めよう」
 そんな常識を打ち破るべく機能を大胆に絞り込み、圧倒的なコストパフォーマンスを実現しました。さらにマスクレス露光装置としては異例の手動ステージモデルをラインナップ。初期投資を抑えて研究環境を整えられます(※3)。
 最大露光エリアは□25mm(※4)、最小露光線幅は3μmと、研究領域は選びますが、 高い自由度と低い導入コストはお客様の研究開発を強力にアシストします。

 ※3. 手動ステージモデルから電動ステージモデルへのアップグレードが可能です。
 ※4. より大きな露光範囲が必要なお客様には「□100大型ステージモデル」をご用意しています。

気軽に使える装置仕様

「大事な装置を学生や部外者には使わせられない!」
 そんな理由で使用頻度が落ちている学内設備を見かけることがあります。大事な装置も、宝の持ち腐れになってしまっては本末転倒です。PALETはハードウェア・ソフトウェアともに 技術者に熟練度を要求しない、ユーザフレンドリな装置です。実際に数時間の装置デモンストレーションの間に基本操作は習得される方がほとんどで、「使い方が簡単」という声をいただきます。
 ぜひ気軽にフォトリソグラフィにトライしてみてください。

設置場所に困らない卓上型

「実験室は狭いから、露光装置を置ける場所はない」
 そんな声に応えるべく、“デスクトップリソグラフィ”をキーワードに、装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現しました(※1)。もちろんマスクアライナなど追加の露光機は不要です。 またフローティング構造を採用することで振動を抑制し、防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を 実現。導入に際して障害となりやすい圧縮エア等のユーティリティを取り除きました。お客様にご用意いただくのは机と100V電源のみ(※2)です。

 ※1. 他にノートPCが付属します。加えて電動ステージモデルはステージドライバが付属します
 ※2. 現像環境、及び感光防止環境はご用意ください

PALET専用設計2倍対物レンズ

 微細構造やマイクロ流路などの厚膜露光には焦点深度の深い対物レンズが必要です。PALET専用2倍対物レンズは数100ミクロンに達する厚膜露光を実現(※5)。 従来はマスクアライナーを使用することが一般的だった厚膜レジストもマスクレスで露光可能です。

 ※5.使用するレジストに依存します。

ステージレイアウト

 ステージには脱着可能なピンを用意しました。基板サイズに合わせて配置を変更できます。さらに専用の基板ストッパをご利用いただくことも可能です。 専用ストッパはお客様自身でご用意いただくか、弊社までご相談ください。

ピンによる位置合わせ(標準)

位置合わせ用冶具例

オーバーサイズ露光用冶具例

ラインナップと特注製品

 PALETシリーズはユーザの声を受けながら順次ラインナップを拡充しています。実際に大型ステージモデルはお客様の強い要望から生まれた製品であり、最大4インチまで対応しています。
 またマスクレス露光装置PALETはネオアークによる完全オリジナル。そのため各ユニットを利用したカスタマイズにも柔軟に対応できます。 「露光装置ではないが、DMDを利用してパターンを当てたい。とはいえ制御系を自分で組むのは難しい」という声は多く寄せられていますので、お気軽にご相談ください。 取り付け、製品構成などもご相談頂ければ、幅広い提案が可能です。
 特注例
  • 露光ユニットと支給ステージとの組合せ
  • 円筒形状ワークへの対応
  • 厚みのあるワークへの対応
  • 露光波長の変更、 etc
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