振動測定装置/速度計 speedometer

振動測定装置/速度計

面内速度センサ

概要/仕様

ドップラ効果を応用した非接触式の速度センサ

概要 レーザドップラ式面内方向速度センサ
検出速度範囲 0.03~3.5m/s
速度最小
分解能
検出速度中心値の5%
作動距離
(W.D.)
16±1.3 mm
検出エリア
*1
10µm×500µm(TYP) *2
センサヘッド
寸法
W30mm×D80mm×H35mm
出力信号 検出速度に同期したパルス及び検出速度に比例したアナログ電圧
レーザ安全
クラス
クラス3R

*1 作動距離16mmの位置での検出エリアとなります。

*2 速度検出方向は長辺に平行しています。

本製品は開発中につき、仕様は変更される場合がございます。

特長/用途

非接触で手軽に速度を検出

ワークの速度をダイレクトに計測

低価格のヘッドで複数のポイントを計測

ワークの送り長を正確に計測

小型で生産ラインへの組み込みに最適

サニャック干渉計振動観察装置

概要/仕様

サニャック効果を応用した干渉計により、
GHz帯の高周波で動作するデバイス
(SAW、FBARなど)の
振動分布を可視化する装置

観察周波数 MHz~6GHz
観察スポット
φ1μm
マッピング位置
分解能
0.1μm

特長/用途

SAWデバイスくし型電極部の弾性波伝搬の可視化により、
バスバーや基板への不要拡散が確認可能

SAW、FBARなど高周波デバイスの設計最適化

光ヘテロダイン微小振動測定装置

概要/仕様

レーザのドップラ効果を用いて、
微小振動の周波数と振幅を測定する装置

応答周波数 1~200MHz
最大測定速度 5m/s
測定スポット
約φ10μm

特長/用途

高剛性の筺体により、デスクトップながら200MHzの振動を精密に測定可能

縦(面外)振動と横(面内)振動の測定が可能

操作性の良い顕微鏡光学系と直感的な信号出力

ソフトウェアにより振動解析、アニメーション化などが可能(オプション)

MEMSデバイス、水晶振動子、SAWデバイスなどの振動解析

グリーンレーザ振動計

概要/仕様

グリーンレーザ(32nm)を光源とした、
小型、軽量の振動測定装置

応答周波数 1~300kHz
最大測定速度 5m/s
測定スポット
約φ25μm
(測定距離300mmにて)

特長/用途

小型、軽量で可搬性に優れるため、フィールドでの測定が可能

シンプルな構成により安価を実現

構造物、アクチュエータ、電子デバイスなどの振動解析