「PALETシリーズ最大！」
露光範囲
100mm×100mm
フォトマスク制作にも使えます。！
デモ露光受付中
「露光範囲100ｍｍ×100ｍｍ」
「PALET 4 inch MODEL」はデスクトップながら,これまでのPALETでは対応できなかった100mm×100mm範囲への露光が可能です。
「フォトマスク不要」
「マスクレス」なので、フォトマスクを使用せず画像データで作成したパターンを自由に露光することができます。マスク製作にかかる時間や費用を削減できます。
「使い勝手に重点を置いたアプリケーション」
「完全自社開発」のソフトウェアを使用しています。最小限の操作のみで露光が完了するため、煩わしい準備に時間を取られることがありません。オートフォーカスや重ね合わせ、つなぎ合わせのアシスト機能等、露光エリアは⼤きくなっても、これまでのPALETシリーズと共通する、ユーザフレンドリな操作性を実現しています。
「省スペース」
「デスクトップサイズ」に小型化されたPALETシリーズだから置き場所を選びません。
小型除振台が付属していますので実験室の空きスペースなどに設置可能です。オープン構造のため、サンプルホルダなどのオプション設計する場合に自由度が高いメリットがあります。
露光例
SU-8/Si 基盤 PDSMに転写
高アスペクトピラー(SU-8 200μｍ厚)
協力：東京工業大学 小俣・石田研石田准教授
磁気センサパターン
(OFPR800LB 3層重ね合わせ)
※パターン提供：Mazurkin 博士
製品仕様
| 品名 | PALET 4inch MODEL |
| 型名 | DDB-701-DL4 |
| ステージ | 電動XYZθステージ |
| 構成（共通） | 装置本体・制御用PC・ソフトウェア |
| 構成（モデル） | ステージドライバ・防振テーブル |
| 光源 | 365nm(typ.) LED |
| 露光領域 | 100mm × 100mm |
| ワークサイズ | 最大Φ150mm、 厚み10mm |
| 露光線幅 | 厚膜SU-8露光時約15μｍ、薄膜レジスト露光時約3μｍ |
| ユーティリティ | AC100V、消費電力 1.5kW以下 |
| 対応ファイルフォーマット | 画像データ(JPEG / PNG / BITMAP) 、パワーポイントデータ（XPS）、CADデータ(DXF) |
| 本体外寸、質量 | 500mm(W) × 600mm(D) × 650mm(H)、 約100kg |