製品トピック case

 装置コスト1/5で試作効率10倍!?

 マスクレス露光装置 PALET

半導体・センサ等の試作を大幅に効率化
少量多品種のフォトリソグラフィーに最適！
 

デモ機あります！

詳細については下記”お問い合わ”せよりご連絡ください。

コンパクト
装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現しました。
もちろんマスクアライナなど追加の露光機は不要です。

※他にノートPCが付属します。加えて電動ステージモデルはステージドライバが付属します。

省労力
フローティング構造を採用することで振動を抑制し、防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を実現。導入に際して障害となりやすい圧縮エア等のユーティリティを取り除きました。お客様にご用意いただくのは机と100V電源のみです。

※現像環境、及び感光防止環境はご用意ください。

手が届く価格設定
圧倒的なコストパフォーマンスを実現しました。さらにマスクレス露光装置としては異例の手動ステージモデルをラインナップ。
初期投資を抑えて研究環境を整えられます。
コストを抑えたいとお考えの場合は・・・・
　手動タイプ　490万円（日本国内向け参考価格）
作業工数を減らしたいとお考えの場合は・・・
　電動タイプ　900万円（日本国内向け参考価格）

マスクレス露光
フォトマスク不要のため、思いついたパターンをその場で露光できます。

※マスクレス露光とは
フォトマスクを使用せずに画像データで作成したパターンを露光することが可能です。
新規パターン製作時にフォトマスクの製作コストがかかりません。

マイクロメータ付属
手動ステージタイプ

電動ステージタイプ

4インチ対応大型電動ステージタイプ

※価格についてはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。

【case1】
大型の露光設備は高額で手が出せず、場所の確保も容易ではない。又、マスク準備期間に時間がかかる。
 
-Before-
今までは期限前に3～5種類程度の露光が限界。
 
-After-
1週間程度で50種類近くの露光・試作を達成。

▾
試作効率が
およそ10倍に！

【case2】
試作開発に対して高額な設備投資はなかなか難しい。(フォトマスク製作コスト含む)
 
-Before-
試作用フォトマスクの製作に2年間で多額(1000万円弱)の投資。
 
-After-
フォトマスク分の費用を他の研究設備に投資。

▾
フォトマスク製作コスト削減！
(マスクレス露光装置1台分に相当)